采用反应气体等离子源辅助沉积，对工件进行预清洗及镀膜时的辅助沉积；采用大功率的脉冲偏压电源，增强膜层的附着力；采用多套孪生靶及弧，可同时安装2-6种不同纯金属或合金靶材，获得复合纳米镀层；工件架采用公自转结构，称重能力强及耐高温，并可移动出...